Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Черноголовка, 1995
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Черноголовка, 1995
Библиографическое описание
Скопировать
Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов. — Черноголовка, 1995. — 23 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000010085
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Черноголовка
Год издания
1995
Объем
23 с.
Ответственность
Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
ББК
З844.15-060.7-7с336,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01519nam a2200277 i 4500
001
000010085
003
RuMoRGB
005
20071026120000.0
008
960619s1995 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 95-8264А
$b: RuMoRKP
$a: 95-8264А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0010205
$a: (RuMoRGB)DIS-0010205
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-060.7-7с336,0
$2: rubbk
$a: З844.15-060.7-7с336,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Симакин, Сергей Геннадьевич
$a: Симакин, Сергей Геннадьевич
245
##
$a: Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$c: Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
$a: Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$c: Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
260
##
$a: Черноголовка
$c: 1995
$a: Черноголовка
$c: 1995
300
##
$a: 23 с.
$a: 23 с.
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-4/869-5
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-4/869-5
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-4/870-9
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-4/870-9
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000010000/rsl01000010085/rsl01000010085.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000010000/rsl01000010085/rsl01000010085.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 05.27.01 » , автор — Симакин С.Г.. Документ был опубликован в 1995 году. Место издания — Черноголовка. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.