← Вернуться

Влияние термообработок в водороде на эволюцию примесно-дефектной подсистемы кремния. автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10

О произведении

Автор:
Ответственность:
Моск. ин-т электронной техники
Место издания:
Москва
Год издания:
Количество страниц:
14 с.
ББК:
В379.222,03
Источник:
Российская государственная библиотека (РГБ)
Язык:
Русский

Похожие