Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .
Версия для слепых
Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния
«Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитакси» — Никифоров А.И. — издание: 1994
Никифоров Александр Иванович

Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния

Никифоров А.И.
16 с.
Количество страниц
Год издания
Новосибирск
Место издания

О произведении

Ответственность
Ин-т физики полупроводников
ББК
В379.251.4-6,03
Библиотека
Российская государственная библиотека (РГБ)

Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния» ББК:В379.251.4-6,03, автора Никифоров А.И. Документ был издан в 1994 году. Содержит 16 с.

Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.