Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Новосибирск
Место издания
1994
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_000025679
Каталог
Автор
Никифоров А.И.
Заглавие
Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Место издания
Новосибирск
Год издания
1994
Объем
16 с.
Ответственность
Ин-т физики полупроводников
ББК
В379.251.4-6,03
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : : автореферат дис. .. кандидата физико-математических наук : 01.04.07» ББК:В379.251.4-6,03, автора Никифоров А.И. Документ был издан в 1994 году. Содержит 16 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 94-5821А
$b: RuMoRKP
$a: 94-5821А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0025935
$a: (RuMoRGB)DIS-0025935
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.07
$2: nsnr
$a: 01.04.07
$2: nsnr
084
##
$a: В379.251.4-6,03
$2: rubbk
$a: В379.251.4-6,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Никифоров, Александр Иванович
$a: Никифоров, Александр Иванович
245
##
$a: Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Ин-т физики полупроводников
$a: Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Ин-т физики полупроводников
260
##
$a: Новосибирск
$c: 1994
$a: Новосибирск
$c: 1994
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
650
#1
$a: Физика твердого тела
$2: nsnr
$a: Физика твердого тела
$2: nsnr
787
11
$w: 000170853
$i: Диссертация
$w: 000170853
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 94-2/3622-0
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 94-2/3622-0
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000025000/rsl01000025679/rsl01000025679.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000025000/rsl01000025679/rsl01000025679.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen