← Вернуться

Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния. автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07

О произведении

Автор:
Ответственность:
Ин-т физики полупроводников
Место издания:
Новосибирск
Год издания:
Количество страниц:
16 с.
ББК:
В379.251.4-6,03
Источник:
Российская государственная библиотека (РГБ)
Язык:
Русский

Похожие