Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.02.11 (1995) — Иванов А.С. — читать диссертацию (автореферат) онлайн, скачать бесплатно PDF

Библиографическое описание

Скопировать

Иванов, Алексей Сергеевич. Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11 / Северо-Западный заочный политехнический ин-т. — Санкт-Петербург, 1995. — 20 с..

Детальная информация

Код документа в НЭБ

000199_000009_000029303

Каталог

Авторефераты диссертаций

Автор(ы)

Иванов А.С.

Заглавие

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.02.11

Место издания

Санкт-Петербург

Год издания

1995

Объем

20 с.

Ответственность

Северо-Западный заочный политехнический ин-т

ББК

З843.322.4-1с34,0

Язык

Русский

Еще

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

LDR

01476nam a2200289 i 4500

001

000029303

003

RuMoRGB

005

20071026120000.0

008

970217s1995 ru |||| a |00 u rus d

017

##
$a: 96-5437А
$b: RuMoRKP

035

##
$a: (RuMoRGB)DIS-0029602

040

##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB

041

##
$a: rus

072

#1
$a: 05.02.11
$2: nsnr

084

##
$a: З843.322.4-1с34,0
$2: rubbk

100

1#
$a: Иванов, Алексей Сергеевич

245

##
$a: Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11
$c: Северо-Западный заочный политехнический ин-т

260

##
$a: Санкт-Петербург
$c: 1995

300

##
$a: 20 с.

650

#1
$a: Методы контроля и диагностика в машиностроении
$2: nsnr

787

11
$w: 000151947
$i: Диссертация

852

1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 96-3/1353-0
$x: 90

852

1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 96-3/1354-9
$x: 82

856

11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000029000/rsl01000029303/rsl01000029303.pdf
$y: Читать

Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.02.11 » , автор — Иванов А.С.. Документ был опубликован в 1995 году. Место издания — Санкт-Петербург. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.02.11 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11

Библиографическое описание

Детальная информация

Тематика

Другие книги автора

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)" — Авторефераты диссертаций

MARC-запись (MARC21)

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханикеавтореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11

Библиографическое описание

Детальная информация

Тематика

Другие книги автора

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)" — Авторефераты диссертаций

MARC-запись (MARC21)

Интерференционные лазерные методы неразрушающего контроля параметров кремниевых пластин в микромеханике
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.02.11