Сильноионизованная низкотемпературная плазма в приборах электронной техники. Методы исследования, свойства, применение : : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08
Сильноионизованная низкотемпературная плазма в приборах электронной техники. Методы исследования, свойства, применение : : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08
Сильноионизованная низкотемпературная плазма в приборах электронной техники. Методы исследования, свойства, применение : : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08
## $a: Сильноионизованная низкотемпературная плазма в приборах электронной техники. Методы исследования, свойства, применение : $b: автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08 $c: Об-ный ин-т высоких температур РАН