Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Ярославль, 1995
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС
диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Ярославль, 1995
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Смирнов, Валерий Константинович. Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01. — Ярославль, 1995. — 315 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000169194
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Ярославль
Год издания
1995
Объем
315 с.
Регистрационный номер
д9294-97
ББК
з844.152-015с38,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
структуры СБИС
Библиотека
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 » , автор — Смирнов В.К.. Документ был опубликован в 1995 году. Место издания — Ярославль. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Ионно- и электронно-зондовый анализ структур СБИС : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов.