Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 1997
Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 1997
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич. Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. — Москва, 1997. — 279 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000179669
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
1997
Объем
279 с.
ББК
з844.152-060.6,0, з852.3-060.6,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01558nam a2200313 i 4500
001
000179669
003
RuMoRGB
005
20071029120000.0
008
980227s1997 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д11232-97
$b: RuMoRGB
$a: д11232-97
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0358427
$a: (RuMoRGB)DIS-0358427
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$a: 05.27.01
084
##
$a: з844.152-060.6,0
$a: з844.152-060.6,0
084
##
$a: з852.3-060.6,0
$a: з852.3-060.6,0
100
1#
$a: Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич
$a: Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич
245
##
$a: Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
$a: Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
260
##
$a: Москва
$c: 1997
$a: Москва
$c: 1997
300
##
$a: 279 с.
$b: ил.
$a: 279 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 240-255
$a: Библиогр.: с. 240-255
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
787
11
$i: Автореферат
$w: 000198445
$i: Автореферат
$w: 000198445
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 97-5/753
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 97-5/753
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000179000/rsl01000179669/rsl01000179669.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000179000/rsl01000179669/rsl01000179669.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$b: 000198445
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 000198445
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01 » , автор — Кривоспицкий А.Д.. Документ был опубликован в 1997 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01 » в удобной системе просмотра документов.