Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 1994
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии
диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
Москва, 1994
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Сергеева, Жанна Михайловна. Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06. — Москва, 1994. — 193 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000187583
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
1994
Объем
193 с.
ББК
з844.15-060.6-1,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01451nam a2200301 i 4500
001
000187583
003
RuMoRGB
005
20180315114155.0
008
981015s1994 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д5976-94
$b: RuMoRGB
$a: д5976-94
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0378428
$a: (RuMoRGB)DIS-0378428
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: з844.15-060.6-1,0
$2: rubbk
$a: з844.15-060.6-1,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Сергеева, Жанна Михайловна
$a: Сергеева, Жанна Михайловна
245
##
$a: Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
$a: Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06
260
##
$a: Москва
$c: 1994
$a: Москва
$c: 1994
300
##
$a: 193 с.
$b: ил.
$a: 193 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 181-190
$a: Библиогр.: с. 181-190
650
#1
$a: Технология полупроводников и материалов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология полупроводников и материалов электронной техники
$2: nsnr
787
11
$w: 000007302
$i: Автореферат
$w: 000007302
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 94-5/873
$x: 39
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL02
$j: 61 94-5/873
$x: 39
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000187000/rsl01000187583/rsl01000187583.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000187000/rsl01000187583/rsl01000187583.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000007302
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000007302
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » , автор — Сергеева Ж.М.. Документ был опубликован в 1994 году. Место издания — Москва. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Влияние взаимодействия примесей и дефектов на процессы геттерирования в кремнии для планарной технологии : диссертация . кандидата технических наук : 05.27.06 » в удобной системе просмотра документов.