← Вернуться

Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок. автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13

О произведении

Автор:
Место издания:
Москва
Год издания:
Количество страниц:
18 c.
Источник:
Российская государственная библиотека (РГБ)
Язык:
Русский

Похожие