Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Москва
Место издания
1996
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_000238854
Каталог
Автор
Бесогонов В.В.
Заглавие
Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
Место издания
Москва
Год издания
1996
Объем
18 с.
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.12.13» , автора Бесогонов В.В. Документ был издан в 1996 году. Содержит 18 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
035
##
$a: (RuMoEDL)-2k010403
$a: (RuMoEDL)-2k010403
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.12.13
$2: nsnr
$a: 05.12.13
$2: nsnr
100
1#
$a: Бесогонов, Валерий Валентинович
$a: Бесогонов, Валерий Валентинович
245
##
$a: Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
$a: Исследование влияния конструкции установки параметров процесса магнетронного распыления и распыления ионным пучком на строение пленок :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13
260
##
$a: Москва
$c: 1996
$a: Москва
$c: 1996
300
##
$a: 18 с.
$b: ил
$a: 18 с.
$b: ил
650
#1
$a: Системы и устройства радиотехники и связи
$2: nsnr
$a: Системы и устройства радиотехники и связи
$2: nsnr
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000238000/rsl01000238854/rsl01000238854.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000238000/rsl01000238854/rsl01000238854.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
$a: dlopen