Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Минск, 1993
Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Минск, 1993
Библиографическое описание
Скопировать
Свадковский, Игорь Витальевич. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06. — Минск, 1993. — 21 с. : ил.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000347153
Каталог
Автор
Заглавие
Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.06
Место издания
Минск
Год издания
1993
Объем
21 с.
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01341nam a2200241 i 4500
001
000347153
003
RuMoRGB
005
20080201120000.0
008
080201s1993 ru a||| a |00 u rus d
035
##
$a: (RuMoEDL)-93k40785
$a: (RuMoEDL)-93k40785
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
100
1#
$a: Свадковский, Игорь Витальевич
$a: Свадковский, Игорь Витальевич
245
##
$a: Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
$a: Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
260
##
$a: Минск
$c: 1993
$a: Минск
$c: 1993
300
##
$a: 21 с.
$b: ил
$a: 21 с.
$b: ил
650
#1
$a: Технология полупроводников и материалов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология полупроводников и материалов электронной техники
$2: nsnr
787
11
$w: 007882073
$i: Диссертация
$w: 007882073
$i: Диссертация
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000347000/rsl01000347153/rsl01000347153.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000347000/rsl01000347153/rsl01000347153.pdf
$y: Читать