Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Тышишин, Василий Васильевич. Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07. — Москва, 1999. — 21 с. : ил.
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07
## $a: Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : $b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
260
## $a: Москва $c: 1999
300
## $a: 21 с. $b: ил
650
#1 $a: Оборудование производства электронной техники $2: nsnr