Версия для слепых
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса)
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
Москва, 1999

Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса)
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07

Москва, 1999

Библиографическое описание

Скопировать
Тышишин, Василий Васильевич. Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07. — Москва, 1999. — 21 с. : ил.

Детальная информация

Код документа в НЭБ
000199_000009_000764014
Заглавие
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07
Место издания
Москва
Год издания
1999
Объем
21 с.
Язык
Русский

Другие документы из источника "Российская государственная библиотека (РГБ)"

Шарипов Р.А.
3D-brane universe model : monograph : scientific electronic publication / R. A. Sharipov Pt. 1 : , 2025
Российская государственная библиотека (РГБ)

Посмотреть все документы источника "Российская государственная библиотека (РГБ)"

MARC-запись (MARC21)

LDR
01204nam a2200229 i 4500
001
000764014
003
RuMoRGB
005
20080724120000.0
008
080724s1999 ru a||| a |00 u rus d
035
##
$a: (RuMoEDL)-2k001982
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.07
$2: nsnr
100
1#
$a: Тышишин, Василий Васильевич
245
##
$a: Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок (применительно к сборке ИС в полимерные корпуса) :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
260
##
$a: Москва
$c: 1999
300
##
$a: 21 с.
$b: ил
650
#1
$a: Оборудование производства электронной техники
$2: nsnr
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000764000/rsl01000764014/rsl01000764014.pdf
$y: Читать
Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .