Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Минск, 2000
Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов
автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Минск, 2000
Библиографическое описание
Скопировать
Щербакова, Елена Николаевна. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01. — Минск, 2000. — 22 с. : ил.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000771253
Каталог
Автор
Заглавие
Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Минск
Год издания
2000
Объем
22 с.
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01263nam a2200229 i 4500
001
000771253
003
RuMoRGB
005
20080724120000.0
008
080724s2000 ru a||| a |00 u rus d
035
##
$a: (RuMoEDL)-2k002004
$a: (RuMoEDL)-2k002004
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
100
1#
$a: Щербакова, Елена Николаевна
$a: Щербакова, Елена Николаевна
245
##
$a: Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$a: Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
260
##
$a: Минск
$c: 2000
$a: Минск
$c: 2000
300
##
$a: 22 с.
$b: ил
$a: 22 с.
$b: ил
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника и наноэлектроника
$2: nsnr
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000771000/rsl01000771253/rsl01000771253.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000771000/rsl01000771253/rsl01000771253.pdf
$y: Читать