Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2003
Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники
диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2003
Библиографическое описание
Скопировать
Соколов, Леонид Владимирович. Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01. — Москва, 2003. — 245 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_002636684
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2003
Объем
245 с.
ББК
О567-04,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
мультисенсорные датчики давления-температуры, пьезорезистивные сенсоры давления
Библиотека
LDR
01958nam a2200301 i 4500
001
002636684
003
RuMoRGB
005
20050216120000.0
008
040219s2003 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д3802-05
$b: RuMoRGB
$a: д3802-05
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0621331
$a: (RuMoRGB)DIS-0621331
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$a: 05.27.01
084
##
$a: О567-04,0
$a: О567-04,0
100
1#
$a: Соколов, Леонид Владимирович
$a: Соколов, Леонид Владимирович
245
##
$a: Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
$a: Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01
260
##
$a: Москва
$c: 2003
$a: Москва
$c: 2003
300
##
$a: 245 с.
$b: ил.
$a: 245 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с.203-225
$a: Библиогр.: с.203-225
506
##
$a: Для служебного пользования.
$a: Для служебного пользования.
650
#1
$a: Оборудование летательных аппаратов -- Авиационные приборы -- Детали и узлы -- Датчики
$a: Оборудование летательных аппаратов -- Авиационные приборы -- Детали и узлы -- Датчики
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
653
##
$a: мультисенсорные датчики давления-температуры
$a: пьезорезистивные сенсоры давления
$a: мультисенсорные датчики давления-температуры
$a: пьезорезистивные сенсоры давления
787
11
$i: Автореферат
$w: 002660739
$i: Автореферат
$w: 002660739
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 05-0/14
$x: 40
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 71 05-0/14
$x: 40
LKR
##
$a: PAR
$b: 002660739
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$b: 002660739
$l: RSL01
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления- температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.01 » , автор — Соколов Л.В.. Документ был опубликован в 2003 году. Место издания — Москва. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.