Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники
автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2003
Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники
автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 2003
Библиографическое описание
Скопировать
Соколов, Леонид Владимирович. Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Моск. гос. авиац. ин-т. — Москва, 2003. — 45 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_002660739
Каталог
Автор
Заглавие
Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники : автореферат дис. доктора технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2003
Объем
45 с.
Ответственность
Моск. гос. авиац. ин-т
ББК
О567-04,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
мультисенсорные датчики давления-температуры, пьезорезистивные сенсоры давления
Библиотека
LDR
02000nam a2200289 i 4500
001
002660739
003
RuMoRGB
005
20090720134320.0
008
040219s2003 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 04-2776А
$b: RuMoRKP
$a: 04-2776А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0558451
$a: (RuMoRGB)DIS-0558451
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$a: 05.27.01
084
##
$a: О567-04,0
$a: О567-04,0
100
1#
$a: Соколов, Леонид Владимирович
$a: Соколов, Леонид Владимирович
245
##
$a: Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Моск. гос. авиац. ин-т
$a: Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления температуры, пьезорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Моск. гос. авиац. ин-т
260
##
$a: Москва
$c: 2003
$a: Москва
$c: 2003
300
##
$a: 45 с.
$a: 45 с.
506
##
$a: Для служебного пользования
$a: Для служебного пользования
650
#1
$a: Оборудование летательных аппаратов -- Авиационные приборы -- Детали и узлы -- Датчики
$a: Оборудование летательных аппаратов -- Авиационные приборы -- Детали и узлы -- Датчики
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
653
##
$a: мультисенсорные датчики давления-температуры
$a: пьезорезистивные сенсоры давления
$a: мультисенсорные датчики давления-температуры
$a: пьезорезистивные сенсоры давления
720
1#
$a: Московский государственный авиационный институт
$a: Московский государственный авиационный институт
787
11
$i: Диссертация
$w: 002636684
$i: Диссертация
$w: 002636684
852
1#
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 04/44
$x: 92
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 04/44
$x: 92