Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда
Москва : ИЯИ РАН, 2004
Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда
Москва : ИЯИ РАН, 2004
Библиографическое описание
Скопировать
Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда / [В. С. Кленов и др.]. — Москва : ИЯИ РАН, 2004. — 14 с. : ил. : 29 см — (Препринт / Ин-т ядер. исслед. Рос. акад. наук).
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_002708276
Каталог
Автор
Заглавие
Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
2004
Объем
14 с.
Ответственность
[В. С. Кленов и др.]
ББК
В333.311с0,09, Л463.8-5-01,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
&, 34;шнуровой&, 34; канал, алмазоподобные углеродные материалы
Библиотека
LDR
01979cam a2200265 i 4500
001
002708276
005
20051018124448.0
008
050831s2004 ru r 000 u rus
017
##
$a: 05-56002
$a: 05-56002
020
##
$z: (В обл.)
$z: (В обл.)
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 537.525
$a: 537.525
084
##
$a: В333.311с0,09
$a: В333.311с0,09
084
##
$a: Л463.8-5-01,0
$a: Л463.8-5-01,0
245
##
$a: Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда
$c: [В. С. Кленов и др.]
$a: Разработка и исследование установки CVD-синтеза на основе сильноточного тлеющего разряда
$c: [В. С. Кленов и др.]
260
##
$a: Москва
$b: ИЯИ РАН
$c: 2004
$f: Отпеч. на компьютерной издат. системе Издат. отд. Ин-та ядер. исслед. РАН
$a: Москва
$b: ИЯИ РАН
$c: 2004
$f: Отпеч. на компьютерной издат. системе Издат. отд. Ин-та ядер. исслед. РАН
300
##
$a: 14 с.
$b: ил.
$c: 29 см
$a: 14 с.
$b: ил.
$c: 29 см
490
##
$a: Препринт / Ин-т ядер. исслед. Рос. акад. наук
$v: ИЯИ-1130/2004, октябрь 2004
$a: Препринт / Ин-т ядер. исслед. Рос. акад. наук
$v: ИЯИ-1130/2004, октябрь 2004
504
##
$a: Библиогр.: с. 14
$a: Библиогр.: с. 14
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Газоразрядная плазма -- Сильноточные разряды -- Дуговой -- Приборы
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Газоразрядная плазма -- Сильноточные разряды -- Дуговой -- Приборы
650
#1
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Абразивные материалы и изделия -- Искусственные абразивные материалы -- Синтетический алмаз -- Оборудование -- Теория и проектирование оборудования
$a: Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Абразивные материалы и изделия -- Искусственные абразивные материалы -- Синтетический алмаз -- Оборудование -- Теория и проектирование оборудования
653
##
$a: "шнуровой" канал
$a: алмазоподобные углеродные материалы
$a: "шнуровой" канал
$a: алмазоподобные углеродные материалы
700
1#
$a: Кленов, В. С.
$a: Кленов, В. С.
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 3 05-32/137
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 3 05-32/137
$x: 90