Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Москва : Изд-во Моск. ун-та, 2005
Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Москва : Изд-во Моск. ун-та, 2005
Изложены результаты как собственных исследований, так и других исследователей, которые, по мнению авторов, являются наиболее весомыми для развития направления ионной модификации материалов. Для научных работников, занимающихся ионными технологиями.
Библиографическое описание
Скопировать
Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов / К. К. Кадыржанов [и др.; ред. В. С. Русаков]. — Москва : Изд-во Моск. ун-та, 2005. — 639 с. : портр., : 22 см.; ISBN 5-211-05153-X (в пер.).
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_002807675
Каталог
Заглавие
Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
2005
Объем
639 с.
Ответственность
К. К. Кадыржанов [и др.; ред. В. С. Русаков]
ISBN
5-211-05153-X (в пер.)
ББК
З843.069-1,0, З844.19-060.14-1,0
Язык
Русский
Еще
Ключевые слова
дефектно-примесные преобразования в полупроводниках, структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях, имплантационные системы металл-металлоид, покрытия в микроэлектронике
Общее примечание
На обл. авт. не указаны
Еще
Библиотека
LDR
02486cam a2200337 i 4500
001
002807675
005
20060207114430.0
008
051017s2005 ru r 000 u rus
017
##
$a: 05-66322
$a: 05-66322
020
##
$a: 5-211-05153-X (в пер.)
$a: 5-211-05153-X (в пер.)
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
$e: rcr
$a: RuMoRKP
$b: rus
$d: RuMoRGB
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 539.21:539.533.9;539.21:539.53
$a: 539.21:539.533.9;539.21:539.53
084
##
$a: З843.069-1,0
$a: З843.069-1,0
084
##
$a: З844.19-060.14-1,0
$a: З844.19-060.14-1,0
245
##
$a: Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
$c: К. К. Кадыржанов [и др.; ред. В. С. Русаков]
$a: Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
$c: К. К. Кадыржанов [и др.; ред. В. С. Русаков]
260
##
$a: Москва
$b: Изд-во Моск. ун-та
$c: 2005
$a: Москва
$b: Изд-во Моск. ун-та
$c: 2005
300
##
$a: 639 с.
$b: портр.,
$c: 22 см
$a: 639 с.
$b: портр.,
$c: 22 см
500
##
$a: На обл. авт. не указаны
$a: На обл. авт. не указаны
504
##
$a: Библиогр.: с. 594-638
$a: Библиогр.: с. 594-638
520
##
$a: Изложены результаты как собственных исследований, так и других исследователей, которые, по мнению авторов, являются наиболее весомыми для развития направления ионной модификации материалов. Для научных работников, занимающихся ионными технологиями.
$a: Изложены результаты как собственных исследований, так и других исследователей, которые, по мнению авторов, являются наиболее весомыми для развития направления ионной модификации материалов. Для научных работников, занимающихся ионными технологиями.
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Влияние облучения -- Теория, исследования
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиотехнические материалы и изделия -- Влияние облучения -- Теория, исследования
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Ионная обработка -- Теория, исследования
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Ионная обработка -- Теория, исследования
653
##
$a: дефектно-примесные преобразования в полупроводниках
$a: дефектно-примесные преобразования в полупроводниках
653
##
$a: структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях
$a: структурно-фазовые превращения в поверхностных слоях
653
##
$a: имплантационные системы металл-металлоид
$a: имплантационные системы металл-металлоид
653
##
$a: покрытия в микроэлектронике
$a: покрытия в микроэлектронике
700
1#
$a: Кадыржанов, Кайрат Камалович
$a: Кадыржанов, Кайрат Камалович
700
1#
$a: Русаков, Вячеслав Серафимович
$e: ред.
$a: Русаков, Вячеслав Серафимович
$e: ред.
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 05-35/320
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 05-35/320
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 05-35/321
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 05-35/321
$x: 90