Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Пенза, 2007
Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств
диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Пенза, 2007
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Скопировать
Игонина, Татьяна Ивановна. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08. — Пенза, 2007. — 152 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_003321407
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
Место издания
Пенза
Год издания
2007
Объем
152 с.
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01476nam a2200313 i 4500
001
003321407
003
RuMoRGB
005
20071019120000.0
008
070705s2007 ru |||| m |00 u rus d
017
##
$a: д23008-07
$b: RuMoRGB
$a: д23008-07
$b: RuMoRGB
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0787608
$a: (RuMoRGB)DIS-0787608
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.11.14
$2: nsnr
$a: 05.11.14
$2: nsnr
072
#1
$a: 05.02.08
$2: nsnr
$a: 05.02.08
$2: nsnr
100
1#
$a: Игонина, Татьяна Ивановна
$a: Игонина, Татьяна Ивановна
245
##
$a: Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
$a: Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08
260
##
$a: Пенза
$c: 2007
$a: Пенза
$c: 2007
300
##
$a: 152 с.
$b: ил.
$a: 152 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с.140-150
$a: Библиогр.: с.140-150
650
#1
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
$a: Технология приборостроения
$2: nsnr
650
#1
$a: Технология машиностроения
$2: nsnr
$a: Технология машиностроения
$2: nsnr
787
11
$w: 003059473
$i: Автореферат
$w: 003059473
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 07-5/3808
$x: 82
$a: РГБ
$b: OD
$c: MZH
$j: 61 07-5/3808
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003321000/rsl01003321407/rsl01003321407.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01003000000/rsl01003321000/rsl01003321407/rsl01003321407.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003059473
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 003059473
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08 » , автор — Игонина Т.И.. Документ был опубликован в 2007 году. Место издания — Пенза. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств : диссертация . кандидата технических наук : 05.11.14, 05.02.08 » в удобной системе просмотра документов.