Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 02.00.04
Иваново, 2010
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 02.00.04
Иваново, 2010
Библиографическое описание
Скопировать
Смирнов, Алексей Александрович. Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04 / Смирнов Алексей Александрович; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т]. — Иваново, 2010. — 16 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_004855781
Автор
Заглавие
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 02.00.04
Место издания
Иваново
Год издания
2010
Объем
16 с.
Ответственность
Смирнов Алексей Александрович; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т]
ББК
В333.2,03, З844.15-060.14-1с45,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
02197nam a2200301 i 4500
001
004855781
003
RuMoRGB
005
20110511141735.0
008
110303s2010 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 10-27389А
$b: RuMoRKP
$a: 10-27389А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 02.00.04
$a: 02.00.04
084
##
$a: В333.2,03
$a: В333.2,03
084
##
$a: З844.15-060.14-1с45,0
$a: З844.15-060.14-1с45,0
100
1#
$a: Смирнов, Алексей Александрович
$a: Смирнов, Алексей Александрович
245
##
$a: Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04
$c: Смирнов Алексей Александрович; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т]
$a: Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HBr и его смесей с аргоном, гелием и водородом :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 02.00.04
$c: Смирнов Алексей Александрович; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т]
260
##
$a: Иваново
$c: 2010
$a: Иваново
$c: 2010
300
##
$a: 16 с.
$a: 16 с.
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Свойства плазмы
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Электричество и магнетизм -- Электронные и ионные явления. Физика плазмы -- Свойства плазмы
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные микросхемы -- Технология производства -- Плазменное травление -- Теория. Исследование -- Физико-химические методы
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные микросхемы -- Технология производства -- Плазменное травление -- Теория. Исследование -- Физико-химические методы
720
1#
$a: Ивановский государственный химико-технологический университет
$a: Ивановский государственный химико-технологический университет
787
11
$i: Диссертация
$w: 004897178
$i: Диссертация
$w: 004897178
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 10-7/1869
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 10-7/1869
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004855000/rsl01004855781/rsl01004855781.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004855000/rsl01004855781/rsl01004855781.pdf
$y: Читать