020
##
$a: 978-5-7782-1559-7 (в пер.)
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
084
##
$a: З851.1-060.14-5,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Геллер, Владимир Михайлович
245
##
$a: Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения
$h: [Текст] =
$b: Plasma high-frequency technologies for electronic instrument making
$c: В. М. Геллер, В. А. Хрусталев
250
##
$a: 2-е изд., перераб. и доп.
260
##
$a: Новосибирск
$b: НГТУ
$c: 2011
300
##
$a: 297 с.
$b: ил., табл.
$c: 22 см
504
##
$a: Библиогр.: с. 284-293
546
##
$a: Парал. тит. л. англ.
650
#1
$a: Электровакуумные приборы -- Электронно-вакуумные приборы -- Технология производства -- Оборудование
$2: rubbk
650
#1
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\66704816
$a: Плазмохимические реакторы
650
#1
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\661339246
$a: Электронные приборы
$x: Производство
$x: Ионно-плазменный метод
653
##
$a: низкотемпературная плазма
653
##
$a: генераторы низкотемпературной плазмы
653
##
$a: плазменные процессы в приборостроении
700
1#
$a: Хрусталев, Владимир Александрович
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 11-28/76
$x: 90
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 1 11-28/77
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01004000000/rsl01004968000/rsl01004968365/rsl01004968365.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlright limit
$b: dllic
$e: Договор с правообладателем