Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт-литографии : : автореферат дис. .. кандидата технических наук : 05.27.01» ББК:З844.19-060.14,0, автора Зайцев, Алексей Александрович Документ был издан в 2014 году. Содержит 22 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
017
##
$a: 14-10184А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.19-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Зайцев, Алексей Александрович
245
##
$a: Исследование и разработка методов формирования устройств наноэлектроники с применением технологии наноимпринт-литографии :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01
$c: Зайцев Алексей Александрович; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ]
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Электрохимическая обработка
$2: rubbk
653
##
$a: наноимпринт-литография
787
11
$w: 007561694
$i: Диссертация
852
##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 9 14-3/707
$x: 90
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01005000000/rsl01005551000/rsl01005551910/rsl01005551910.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlrgb
$c: osk
$d: Отдел сканирования
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb