Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_007553076
Каталог
Автор
Галперин, Вячеслав Александрович
Заглавие
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
Место издания
Москва
Издательство
Бином. Лаб. знаний
Год издания
2013
Издание
3-е изд. (электронное)
Объем
283 с.
Ответственность
В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
Серия
Нанотехнологии
ISBN
978-5-9963-2129-2
ББК
З844.15-060.14я73-1
Ключевые слова
плазменное травление, нанотехнологии
Библиотека
020
##
$a: 978-5-9963-2129-2
$a: 978-5-9963-2129-2
040
##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
080
##
$a: 621.382.049.77(075.8)
$a: 621.382.049.77(075.8)
084
##
$a: З844.15-060.14я73-1
$2: rubbk
$a: З844.15-060.14я73-1
$2: rubbk
100
1#
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
$a: Галперин, Вячеслав Александрович
245
##
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$h: [Электронный ресурс] :
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
$a: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$h: [Электронный ресурс] :
$b: учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$c: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова
250
##
$a: 3-е изд. (электронное)
$a: 3-е изд. (электронное)
260
##
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2013
$a: Москва
$b: Бином. Лаб. знаний
$c: 2013
300
##
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
$a: 283 с.
$b: ил., табл.
336
##
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
$a: текст (text)
$b: txt
$2: rdacontent
337
##
$a: компьютерный (computer)
$b: c
$2: rdamedia
$a: компьютерный (computer)
$b: c
$2: rdamedia
338
##
$a: онлайновый ресурс* (online resource)
$b: cr
$2: rdacarrier
$a: онлайновый ресурс* (online resource)
$b: cr
$2: rdacarrier
490
##
$a: Нанотехнологии
$a: Нанотехнологии
504
##
$a: Библиогр.: с. 275-280
$a: Библиогр.: с. 275-280
650
#1
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
$a: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология производства -- Обработка электронная, лазерная, травление -- Учебник для высшей школы
$2: rubbk
650
#1
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\66481681
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh
RU\NLR\AUTH\66481681
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
653
##
$a: плазменное травление
$a: плазменное травление
653
##
$a: нанотехнологии
$a: нанотехнологии
700
1#
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
$a: Данилкин, Евгений Владимирович
700
1#
$a: Мочалов, Алексей Иванович
$a: Мочалов, Алексей Иванович
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01007000000/rsl01007553000/rsl01007553076/rsl01007553076.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01007000000/rsl01007553000/rsl01007553076/rsl01007553076.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlright limit
$a: dlright limit