Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Минск, 1991
Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Минск, 1991
Библиографическое описание
Скопировать
Федотов, Сергей Александрович. Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Белорус. гос. ун-т им. В.И. Ленина. — Минск, 1991. — 182 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_007934680
Автор(ы)
Заглавие
Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07
Место издания
Минск
Год издания
1991
Объем
182 с.
Ответственность
Белорус. гос. ун-т им. В.И. Ленина
ББК
В379.251.4,03, В379.271.26,03
Библиотека
LDR
01245nam a2200265 i 4500
001
007934680
003
RuMoRGB
005
20150519154745.0
008
980910s1991 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: д20039-92
$b: RuMoRGB
$a: д20039-92
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.07
$2: nsnr
$a: 01.04.07
$2: nsnr
084
##
$a: В379.251.4,03
$2: rubbk
$a: В379.251.4,03
$2: rubbk
084
##
$a: В379.271.26,03
$2: rubbk
$a: В379.271.26,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Федотов, Сергей Александрович
$a: Федотов, Сергей Александрович
245
##
$a: Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Белорус. гос. ун-т им. В.И. Ленина
$a: Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$c: Белорус. гос. ун-т им. В.И. Ленина
260
##
$a: Минск
$c: 1991
$a: Минск
$c: 1991
300
##
$a: 182 с.
$b: ил.
$a: 182 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 151-167
$a: Библиогр.: с. 151-167
650
#1
$a: Физика твердого тела
$2: nsnr
$a: Физика твердого тела
$2: nsnr
787
11
$w: 000131494
$i: Автореферат
$w: 000131494
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 92-1/2713
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$c: HL03
$j: 61 92-1/2713
$x: 81
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000131494
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 000131494
$m: Диссертация
$n: Автореферат
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физические процессы в полупроводниковых кристаллах при высокоэнергетической и высокодозной ионной имплантации : диссертация . кандидата физико-математических наук : 01.04.07 » , автор — Федотов С.А.. Документ был опубликован в 1991 году. Место издания — Минск. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5.