Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники Текст / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн. (Технология спецматериалов интегральных схем)
1976, вып. дан. 1977
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники Текст / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн. (Технология спецматериалов интегральных схем)
1976, вып. дан. 1977
Библиографическое описание
Скопировать
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст] / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн.. (Технология спецматериалов интегральных схем) / 4 т.; 21-26 см Отв. ред. д-р техн. наук проф. Е. Б. Соколов. — Москва : [б. и.], 1968-, 1976, вып. дан. 1977. — 243 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_008302220
Каталог
Заглавие
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники Текст / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн. (Технология спецматериалов интегральных схем)
Год издания
1976, вып. дан. 1977
Объем
243 с.
Ответственность
Отв. ред. д-р техн. наук проф. Е. Б. Соколов
Библиотека
LDR
01389nam a22002412ic4500
001
008302220
003
ELAR
005
20160210145530.9
008
160210m19761977ru ||||| |||||||| ||rus d
017
##
$a: 77-65017ж
$a: 77-65017ж
035
##
$a: (RuMoELAR)lacunas1917-79-071793
$a: (RuMoELAR)lacunas1917-79-071793
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: ELAR
$e: rcr
041
##
$a: rus
$a: rus
044
##
$a: ru
$a: ru
245
##
$a: (Технология спецматериалов интегральных схем)
$c: Отв. ред. д-р техн. наук проф. Е. Б. Соколов
$a: (Технология спецматериалов интегральных схем)
$c: Отв. ред. д-р техн. наук проф. Е. Б. Соколов
260
##
$c: 1976, вып. дан. 1977
$c: 1976, вып. дан. 1977
300
##
$a: 243 с.
$b: ил.
$a: 243 с.
$b: ил.
700
11
$a: Соколов, Е. Б.
$e: ред.
$a: Соколов, Е. Б.
$e: ред.
773
11
$7: nnam
$g: Вып. 28
$t: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст] / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн.
$d: Москва : [б. и.], 1968-
$h: 4 т.; 21-26 см
$w: 008284830
$7: nnam
$g: Вып. 28
$t: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст] / Ред. коллегия: Отв. ред. проф., д. т. н. Г. А. Куров ; М-во высш. и сред. спец. образования СССР. Моск. ин-т электронной техн.
$d: Москва : [б. и.], 1968-
$h: 4 т.; 21-26 см
$w: 008284830
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: Б 70-59/44
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: Б 70-59/44
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: Б 70-59/46
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$j: Б 70-59/46
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$j: Арх
$x: 80
$a: РГБ
$b: FB
$j: Арх
$x: 80
LKR
##
$a: UP
$l: RSL01
$b: 008284830
$m: (Технология спецматериалов интегральных схем)
$n: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст]
$a: UP
$l: RSL01
$b: 008284830
$m: (Технология спецматериалов интегральных схем)
$n: Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники [Текст]