Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний
Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний
Алма-Ата
Место издания
1988
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_008460925
Каталог
Автор
Смирнов Владимир Викторович
Заглавие
Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний
Место издания
Алма-Ата
Год издания
1988
Библиотека
017
##
$a: д3293-89
$b: RuMoRGB
$a: д3293-89
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 01.04.07
$2: nsnr
$a: 01.04.07
$2: nsnr
084
##
$a: В379.271.3,03
$2: rubbk
$a: В379.271.3,03
$2: rubbk
100
1#
$a: Смирнов, Владимир Викторович
$a: Смирнов, Владимир Викторович
245
##
$a: Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
$a: Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний :
$b: диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07
260
##
$a: Алма-Ата
$c: 1988
$a: Алма-Ата
$c: 1988
300
##
$a: 135 с.
$b: ил.
$a: 135 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 121-135
$a: Библиогр.: с. 121-135
650
#1
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr
$a: Физика конденсированного состояния
$2: nsnr
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 89-1/532
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: 61 89-1/532
$x: 81
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb