Исследование индукционных печей с улучшенными энергетическими характеристиками для эпитаксиальной технологии производства полупроводниковых слоев
Исследование индукционных печей с улучшенными энергетическими характеристиками для эпитаксиальной технологии производства полупроводниковых слоев
Таллин
Место издания
1978
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_009401336
Каталог
Автор
Алликас Калью Иоаннович
Заглавие
Исследование индукционных печей с улучшенными энергетическими характеристиками для эпитаксиальной технологии производства полупроводниковых слоев
Место издания
Таллин
Год издания
1978
Библиотека
017
##
$a: д6399-80
$b: RuMoRGB
$a: д6399-80
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.09.10
$2: nsnr
$a: 05.09.10
$2: nsnr
084
##
$a: з843.308-5-01,0
$2: rubbk
$a: з843.308-5-01,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Алликас, Калью Иоаннович
$a: Алликас, Калью Иоаннович
245
##
$a: Исследование индукционных печей с улучшенными энергетическими характеристиками для эпитаксиальной технологии производства полупроводниковых слоев :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10
$a: Исследование индукционных печей с улучшенными энергетическими характеристиками для эпитаксиальной технологии производства полупроводниковых слоев :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10
260
##
$a: Таллин
$c: 1978
$a: Таллин
$c: 1978
300
##
$a: 161 с.
$b: ил.
$a: 161 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 153-160
$a: Библиогр.: с. 153-160
650
#1
$a: Электротермические процессы и установки
$2: nsnr
$a: Электротермические процессы и установки
$2: nsnr
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: Дк 80-5/1727
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: Дк 80-5/1727
$x: 81
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb