Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.06
Москва, 2020
Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.06
Москва, 2020
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Библиографическое описание
Бокарев, Валерий Павлович. Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Бокарев Валерий Павлович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]. — Москва, 2020. — 299 с. : ил..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010249900
Каталог
Автор
Заглавие
Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.06
Место издания
Москва
Год издания
2020
Объем
299 с.
Ответственность
Бокарев Валерий Павлович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
ББК
З844.1-06,0, В379.27,0
Библиотека
Портал НЭБ предлагает вам читать онлайн в Электронном Читальном Зале (ЭЧЗ) диссертацию (автореферат) на тему «Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники : диссертация . доктора технических наук : 05.27.06» ББК:З844.1-06,0, В379.27,0, автора Бокарев В.П. Документ был издан в 2020 году. Содержит 299 с.
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
02742nam a22003257 4500
001
010249900
003
RuMoRGB
005
20211115153939.0
008
200918s2020 ru |||| a |00 u rus d
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.06
$2: nsnr
$a: 05.27.06
$2: nsnr
084
##
$a: З844.1-06,0
$2: rubbk
$a: З844.1-06,0
$2: rubbk
084
##
$a: В379.27,0
$2: rubbk
$a: В379.27,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Бокарев, Валерий Павлович
$a: Бокарев, Валерий Павлович
245
##
$a: Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
$c: Бокарев Валерий Павлович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
$a: Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники :
$b: диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06
$c: Бокарев Валерий Павлович; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»]
260
##
$a: Москва
$c: 2020
$a: Москва
$c: 2020
300
##
$a: 299 с.
$b: ил.
$a: 299 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с.
$a: Библиогр.: с.
541
1#
$c: RBT
$d: 20200915
$e: 2020.10.29.20
$c: RBT
$d: 20200915
$e: 2020.10.29.20
650
#1
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
$a: Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$2: nsnr
650
#1
$a: Техника. Технические науки -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология изготовления
$2: rubbk
$a: Техника. Технические науки -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Технология изготовления
$2: rubbk
650
#1
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические и магнитные свойства полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления
$2: rubbk
$a: Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические и магнитные свойства полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления
$2: rubbk
720
1#
$a: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
$a: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
787
11
$w: 010249899
$i: Автореферат
$w: 010249899
$i: Автореферат
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010249000/rsl01010249900/rsl01010249900.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010249000/rsl01010249900/rsl01010249900.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010249899
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 010249899
$m: Диссертация
$n: Автореферат