Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов
Москва
Место издания
1967
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000199_000009_010390125
Каталог
Автор
Тихонов Юрий Николаевич
Заглавие
Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов
Место издания
Москва
Год издания
1967
Библиотека
017
##
$a: д9804-67
$b: RuMoRGB
$a: д9804-67
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.00.00
$2: nsnr
$a: 05.00.00
$2: nsnr
084
##
$a: з264.545-060.14,0
$2: rubbk
$a: з264.545-060.14,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Тихонов, Юрий Николаевич
$a: Тихонов, Юрий Николаевич
245
##
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.00.00
$a: Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов :
$b: диссертация ... кандидата технических наук : 05.00.00
260
##
$a: Москва
$c: 1967
$a: Москва
$c: 1967
300
##
$a: 167 с.
$b: ил.
$a: 167 с.
$b: ил.
504
##
$a: Библиогр.: с. 159-167
$a: Библиогр.: с. 159-167
650
#1
$a: Технические науки
$2: nsnr
$a: Технические науки
$2: nsnr
720
1#
$a: Моск. ин-т стали и сплавов
$a: Моск. ин-т стали и сплавов
787
11
$w: 006485421
$i: Автореферат
$w: 006485421
$i: Автореферат
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: Дк 67-5/3035
$x: 81
$a: РГБ
$b: OD
$j: Дк 67-5/3035
$x: 81
979
##
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
$a: disser
$b: Каталог диссертаций
$c: rgb
LKR
##
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 006485421
$m: Диссертация
$n: Автореферат
$a: PAR
$l: RSL01
$b: 006485421
$m: Диссертация
$n: Автореферат