Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат дис. доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 1990
Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат дис. доктора технических наук : 05.27.01
Москва, 1990
Библиографическое описание
Королев, Михаил Александрович. Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Королев Михаил Александрович ; [Место защиты: Московский институт электронной техники]. — Москва, 1990. — 47 с. : табл..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_010419235
Автор
Заглавие
Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния : автореферат дис. доктора технических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
1990
Объем
47 с.
Ответственность
Королев Михаил Александрович ; [Место защиты: Московский институт электронной техники]
ББК
З844.15-02,0
Библиотека
LDR
01439nam a2200241 i 4500
001
010419235
003
RuMoRGB
005
20201117124224.0
008
200916s1990 ru d a 000 0 rus d
017
##
$a: 90-11089А
$b: RuMoRKP
$a: 90-11089А
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-02,0
$2: rubbk
$a: З844.15-02,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Королев, Михаил Александрович
$a: Королев, Михаил Александрович
245
##
$a: Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Королев Михаил Александрович ; [Место защиты: Московский институт электронной техники]
$a: Конструктивно-технологические решения создания схем с вертикальной интеграцией компонентов - трехмерных интегральных схем на основе рекристаллизованного поликремния :
$b: автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01
$c: Королев Михаил Александрович ; [Место защиты: Московский институт электронной техники]
260
##
$a: Москва
$c: 1990
$a: Москва
$c: 1990
300
##
$a: 47 с.
$b: табл.
$a: 47 с.
$b: табл.
506
##
$a: Для служ. пользования
$a: Для служ. пользования
650
#1
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника
$2: nsnr
$a: Твердотельная электроника, микроэлектроника
$2: nsnr
720
1#
$a: Московский институт электронной техники
$a: Московский институт электронной техники
852
##
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 90/1679
$x: 92
$a: РГБ
$b: DSP
$c: D09N
$j: Др 90/1679
$x: 92