Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей ред. А. Л. Стемпковского Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем ; ...

Библиографическое описание

Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей ред. А. Л. Стемпковского. Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем ; Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств. — Москва : ИППМ РАН, 2021-, 2021. — X, 210 с. : ил., табл., цв. ил..

Детальная информация

Код документа в НЭБ

000199_000009_010897144

Заглавие

Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей ред. А. Л. Стемпковского Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем ;

Год издания

2021

Общее примечание

Имен. указ. авт. ст.: с. 209-210

Еще

Библиотека

Российская государственная библиотека (РГБ)

Еще

MARC-запись (MARC21)

LDR

02467cam a2200277 i 4500

001

010897144

005

20230206085946.0

008

211126s2021 ru 110 | rus|d

017

##
$a: КН-П-21-082876
$b: RuMoRKP

020

##
$c: 50 экз.

040

##
$a: RuMoRKP
$b: rus
$e: rcr
$d: RuMoRGB

041

##
$a: rus

044

##
$a: ru

084

##
$a: З844.1-02-5-05я431(2)
$2: rubbk

245

##
$a: Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем ;
$b: Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств

260

##
$c: 2021

300

##
$a: X, 210 с.
$b: ил., табл., цв. ил.

336

##
$a: Текст (визуальный)

337

##
$a: непосредственный

500

##
$a: Имен. указ. авт. ст.: с. 209-210

740

#1
$a: Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств

773

#1
$7: nnam
$t: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук ; под общей ред. А. Л. Стемпковского
$d: Москва : ИППМ РАН, 2021-
$x: 2078-7707
$g: Вып. 3
$w: 010791488

852

##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 11 21-2/157
$x: 90

852

##
$a: РГБ
$b: FB
$j: 11 21-2/158
$x: 90

LKR

##
$a: UP
$b: 10791488
$l: RSL01
$i: Вып. 3
$m: Автоматизация проектирования микро- и наноэлектронных схем и систем ; Разработка перспективных микро- и наноэлектронных элементов, схем и устройств
$n: Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2021 (МЭС-2021) : X Юбилейная Всероссийская научно-техническая конференция : сборник трудов