Версия для слепых
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01

Москва
Место издания
Год издания

Описание документа

Код документа в НЭБ
000199_000009_010933338
Автор
Иванов, Владимир Викторович
Заглавие
Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
Место издания
Москва
Год издания
2021
Объем
35 с.
Ответственность
Иванов Владимир Викторович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук]
ББК
З844.15-060.6-1с,0, К960.42,0
Ключевые слова
литографический процесс, фотолитография проекционная, оптическая система сканера

Портал НЭБ предлагает вам скачать или читать онлайн диссертацию (автореферат) на тему «Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм : : автореферат дис. .. кандидата физико-математических наук : 05.27.01» ББК:З844.15-060.6-1с,0, К960.42,0, автора Иванов, Владимир Викторович Документ был издан в 2021 году. Содержит 35 с.

Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.

MARC-запись (MARC21)

017
##
$a: АР-П-22-000042
$b: RuMoRKP
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.01
$2: nsnr
084
##
$a: З844.15-060.6-1с,0
$2: rubbk
084
##
$a: К960.42,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Иванов, Владимир Викторович
245
##
$a: Исследование эффектов оптической близости и разработка методов их коррекции для критических литографических слоев технологии производства СБИС проектных норм 65 нм :
$b: автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01
$c: Иванов Владимир Викторович; [Место защиты: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук]
260
##
$a: Москва
$c: 2021
300
##
$a: 35 с.
541
1#
$b: https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100061464
$c: D11-4747
$d: 20211220
$e: 2021.12.27
650
#1
$a: Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и нано -электроника , приборы на квантовых эффектах
$2: nsnr
650
#1
$a: Техника. Технические науки -- Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология печатных схем -- Методы исследований
$2: rubbk
650
#1
$a: Техника. Технические науки -- Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение -- Приборостроение -- Технология приборостроения -- Технология производства отдельных деталей, узлов и устройств приборов -- Технология производства оптических деталей и узлов приборов
$2: rubbk
653
##
$a: литографический процесс
653
##
$a: фотолитография проекционная
653
##
$a: оптическая система сканера
720
1#
$a: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
787
11
$w: 010933339
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: OD
$j: 9 22-1/5
$x: 81
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01010000000/rsl01010933000/rsl01010933338/rsl01010933338.pdf
$y: Читать
977
##
$a: dlopen
$b: dlmisc
$c: od
$d: Отдел диссертаций
979
##
$a: autoref
$b: Каталог авторефератов диссертаций
$c: rgb
979
##
$a: dlopen
Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .