Данный документ поступил в качестве обязательного экземпляра документа в электронной форме, хранится в ФГБУ «РГБ» и доступен для просмотра исключительно в помещениях ФГБУ «РГБ»
В полном объеме текст документа доступен в читальных залах Российской государственной библиотеки
Доступ к "Микроэлектроника : журнал 2023, Т. 52, № 2 возможен только в читальных залах Российской государственной библиотеки (РГБ).
Выражаем благодарность библиотеке «Российская государственная библиотека (РГБ)» за предоставленный материал.
LDR
00997nam a2200229 i 4500
008
230325e20230401ru 0 rus|d
017
##
$a: ЖЛ-П-23-022043
$b: RuMoRGB
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$e: rcr
245
##
$a: 2023, Т. 52, № 2
300
##
$a: [2], 87-164 с.
$b: ил., табл.
336
##
$a: Текст (визуальный)
337
##
$a: непосредственный
773
11
$7: nnas
$t: Микроэлектроника : журнал
$d: Москва
$g: 2023, Т. 52, № 2
$w: 011668746
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01011000000/rsl01011756000/rsl01011756857/rsl01011756857.pdf
$y: Читать
LKR
##
$a: ANA
$b: 011668746
$l: RSL01
$y: 2023
$v: 52
$i: 2
$m: 2023, Т. 52, № 2
$n: Микроэлектроника : журнал : Выпуски за 2023 год