Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Москва : Физматлит, 2009
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Москва : Физматлит, 2009
Библиографическое описание
Скопировать
Яфаров Р. К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. — Москва : Физматлит, 2009. — 216 с. ил.; 23. — ISBN 978-5-9221-1150-8.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000200_000018_RU_NLR_bibl_1465136
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Место издания
Москва
Издательство
Год издания
2009
Объем
216 с.
Ответственность
Яфаров Равиль Кяшшафович
ISBN
978-5-9221-1150-8
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01414nam0 2200325 i 450
001
RU\NLR\bibl\1465136
005
20251225121900.0
010
##
$a: 978-5-9221-1150-8
$b: в пер.
$9: 300
$a: 978-5-9221-1150-8
$b: в пер.
$9: 300
021
##
$a: RU
$b: 2009-96039
$9: 6099
$a: RU
$b: 2009-96039
$9: 6099
035
##
$a: (nilc)RSL-KNO-004419072
$a: (nilc)RSL-KNO-004419072
100
##
$a: 20091127d2009 u y0rusy0150 ca
$a: 20091127d2009 u y0rusy0150 ca
101
##
$a: rus
$a: rus
102
##
$a: RU
$a: RU
105
##
$a: a zzzz|||||
$a: a zzzz|||||
200
1#
$a: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
$f: Р. К. Яфаров
$a: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
$f: Р. К. Яфаров
210
##
$a: Москва
$c: Физматлит
$d: 2009
$a: Москва
$c: Физматлит
$d: 2009
215
##
$a: 216 с.
$c: ил.
$d: 23
$a: 216 с.
$c: ил.
$d: 23
313
##
$a: производство ИС
$a: производство ИС
320
##
$a: Библиогр.: с. 205-216
$a: Библиогр.: с. 205-216
606
1#
$a: Наноструктуры
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\661527506
$a: Наноструктуры
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\661527506
606
1#
$a: Тонкие пленки
$x: Нанесение распылением в вакууме
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\AUTH\6601764606
$a: Тонкие пленки
$x: Нанесение распылением в вакууме
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\AUTH\6601764606
606
1#
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\66481681
$a: Интегральные схемы
$x: Производство
$x: Плазмохимические методы
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\66481681
686
##
$a: З844.19-060.14-1,0
$2: rubbk
$a: З844.19-060.14-1,0
$2: rubbk
686
##
$a: Ж624-1,0
$2: rubbk
$a: Ж624-1,0
$2: rubbk
689
##
$a: З844.15-060.7
$a: З844.15-060.7
700
#1
$a: Яфаров
$b: Р. К.
$g: Равиль Кяшшафович
$4: 070
$a: Яфаров
$b: Р. К.
$g: Равиль Кяшшафович
$4: 070
801
##
$a: RU
$b: РГБ
$c: 20091127
$g: rcr
$a: RU
$b: РГБ
$c: 20091127
$g: rcr
801
#1
$a: RU
$b: РГБ
$c: 20091127
$a: RU
$b: РГБ
$c: 20091127
801
#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 20100127
$g: rcr
$a: RU
$b: NLR
$c: 20100127
$g: rcr
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий » , автор — Р. К. Яфаров. Документ был опубликован в 2009 году. Место издания — Москва. Издательство — Физматлит. Информация о документе предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская национальная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 191069, Россия, Санкт-Петербург, ул. Садовая, д. 18.