Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
В полном объеме текст документа доступен в электронных читальных залах библиотек-участников НЭБ
Пенза
Место издания
2009
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000200_000018_RU_NLR_bibl_1676128
Каталог
Автор
Аношкин Юрий Владимирович
Заглавие
Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
Место издания
Пенза
Год издания
2009
Объем
24 с.
УДК
621.38
Язык
Русский
Еще
Библиотека
010
##
$9: 100
$9: 100
020
##
$a: RU
$b: 00-7084
$9: Летопись авторефератов диссертаций
$a: RU
$b: 00-7084
$9: Летопись авторефератов диссертаций
021
##
$a: RU
$b: 2010-7591а
$9: 304аа
$a: RU
$b: 2010-7591а
$9: 304аа
100
##
$a: 20100412d2009 u u0rusy0150 ca
$a: 20100412d2009 u u0rusy0150 ca
101
##
$a: rus
$a: rus
102
##
$a: RU
$a: RU
105
##
$a: a dm |||||
$a: a dm |||||
200
1#
$a: Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне
$e: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e: специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
$f: Аношкин Юрий Владимирович
$g: [Пенз. гос. ун-т]
$a: Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне
$e: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e: специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
$f: Аношкин Юрий Владимирович
$g: [Пенз. гос. ун-т]
210
##
$a: Пенза
$d: 2009
$a: Пенза
$d: 2009
215
##
$a: 24 с.
$c: ил.
$d: 21
$a: 24 с.
$c: ил.
$d: 21
320
##
$a: Библиогр.: с. 22-24 (17 назв.)
$a: Библиогр.: с. 22-24 (17 назв.)
675
##
$a: 621.38
$v: 3
$z: rus
$a: 621.38
$v: 3
$z: rus
686
##
$a: 47
$2: rugasnti
$a: 47
$2: rugasnti
686
##
$a: 32.85
$2: rubbk
$a: 32.85
$2: rubbk
686
##
$a: 05.11.14
$2: oksvnk
$a: 05.11.14
$2: oksvnk
700
#1
$a: Аношкин
$b: Ю. В.
$g: Юрий Владимирович
$4: 070
$a: Аношкин
$b: Ю. В.
$g: Юрий Владимирович
$4: 070
801
##
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412
$g: PSBO
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412
$g: PSBO
801
#1
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412
$a: RU
$b: RKP
$c: 20100412
801
#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 20100920
$g: rcr
$a: RU
$b: NLR
$c: 20100920
$g: rcr
856
##
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/view
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/view
856
#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/cover
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/cover
856
#1
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/text
$u: https://vivaldi.nlr.ru/bd000279438/text
901
1#
$a: Авторефераты
$a: Авторефераты
901
##
$a: bd000279438
$b: Текст. Автореферат диcсертации
$e: Авторефераты
$d: 20120220015805
$x: ARD11
$a: bd000279438
$b: Текст. Автореферат диcсертации
$e: Авторефераты
$d: 20120220015805
$x: ARD11
983
##
$a: К.О.
$a: К.О.