Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

##
$a: 978-5-7692-1183-6
$9: 400

##
$a: RU
$b: 2011-90074
$9: 6445

##
$a: (nilc)RSL-KNO-005080951

##
$a: 20111121d2011 u y0rusy0150 ca

##
$a: rus

##
$a: RU

##
$a: a |||||||||

1#
$a: Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
$d: Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices
$f: [В.А. Гриценко, А.П. Елисеев, М.В. Иванов и др.]
$g: отв. ред. А. Л. Асеев, В. А. Гриценко
$g: Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова [и др.]
$z: eng

##
$a: Новосибирск
$c: Изд-во Сибирского отд-ния Российской акад. наук
$d: 2011

##
$a: 157 с.
$c: ил., табл.
$d: 25

1#
$a: Интеграционные проекты СО РАН
$d: SB Ras Integrated Projects
$f: рекол.: акад. В.М. Фомин (гл. ред.) [и др.]
$v: вып. 31

##
$a: Авт. указаны на обороте тит.л.

##
$a: В надзаг. также: Ин-т неорг. химии им. А.В. Николаева, Ин-т катализа им. Г.К. Борескова, Ин-т автоматики и электрометрии, Ин-т геологии и минералогии им. В.С. Соболева

##
$a: Библиогр. в конце гл.

##
$a: Synthesis, properties and applications of dielectrics with high dielectric constant in silicon based devices
$z: eng

1#
$a: Флэш-память
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\661510116

1#
$a: Запоминающие устройства
$x: Материалы
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\66433468

##
$a: Диэлектрики
$x: Применение в микроэлектронике
$2: nlr_sh2
$3: RU\NLR\auth\661378659

##
$a: З843.41,0
$2: rubbk

##
$a: З973.2-045.2

#1
$a: Гриценко
$b: В. А.
$c: д-р физ. мат. наук, физика полупроводников
$g: Владимир Алексеевич
$3: RU\NLR\auth\77118126
$4: 070

#1
$a: Елисеев
$b: А. П.
$4: 070

#1
$a: Иванов
$b: М. В.
$c: физик
$3: RU\NLR\AUTH\77118188
$4: 070

#1
$a: Асеев
$b: А. Л.
$f: 1946-
$g: Александр Леонидович
$3: RU\NLR\auth\77118203
$4: 340

#1
$a: Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова
$c: Новосибирск
$3: RU\NLR\AUTH\889960522
$4: 570

##
$a: RU
$b: RuMoRKP
$c: 20111121
$g: rcr

#1
$a: RU
$b: РГБ
$c: 20111121

#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 20111205
$g: rcr

##
$a: РГ ЛЕЮ