Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников Учеб. пособие Для студентов вузов, обучающихся по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электр. техники", "Прикл. физики и микроэлектроника", "Физика полупроводников и диэлектриков"

##
$a: 5-230-03812-8
$9: 500

##
$a: RU
$b: 98-4520
$9: 216

##
$a: 19980804d1997 u y0rusy0150 ca

##
$a: rus

##
$a: RU

##
$a: |||||||||||||

1#
$a: Физико-химические основы технологии обработки поверхности полупроводников
$e: Учеб. пособие
$e: [Для студентов вузов, обучающихся по спец. "Физика и технология материалов и компонентов электр. техники", "Прикл. физики и микроэлектроника", "Физика полупроводников и диэлектриков"]
$f: В.А. Перевощиков, В.Д. Скупов
$g: М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации, Нижегород. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского

##
$a: Н.Новгород
$c: Изд-во ННГУ
$d: 1997

##
$a: 253 с.
$c: ил.
$d: 20

##
$a: На 4-й с. обл. авт.: Перевощиков В.А., д.х.н., Скупов В.Д., к.ф.-м.н.

##
$a: Библиогр.: с. 245-246

##
$a: Др. произведения авт. на 4-й с. обл.

##
$a: Полупроводники
$x: Производство
$x: Физико-химические основы
$j: Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
$2: nlr-sh1
$3: RU\NLR\auth\66872576

##
$a: Полупроводники
$x: Производство
$x: Физико-химические основы
$j: Учебные издания для высшей школы
$2: nlr-sh2
$3: RU\NLR\auth\66872576

##
$a: З843.308-1я73-1

#1
$a: Перевощиков
$b: В.А.
$g: Виктор Александрович
$3: RU\NLR\auth\773807
$4: 070

#1
$a: Скупов
$b: В.Д.
$g: Владимир Дмитриевич
$3: RU\NLR\auth\773809
$4: 070

##
$a: RU
$b: NLR
$c: 19980804
$g: PSBO

#1
$a: RU
$b: NLR
$c: 19980804

##
$a: Авт. раскрыт по кн.

##
$a: NLR
$j: 98-3/1803