ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ МЕМБРАННОГО ТИПА
Полезная модель относится к микроэлектронике и может быть использована в конструкции преобразователей акустического давления, например микрофонов Чувствительный элемент мембранного типа содержит подложку 1 из монокристаллического кремния с базовой ориентацией (100), мембрану 2, расположенную над отверстием, выполненным в подложке 1 для образования подмембранной камеры 3, и планарную светоотражающую площадку 4.
На мембране выполнен рельеф гофров 5 в виде кольцевых одной или нескольких концентрических канавок. Мембрана 2 состоит из двух слоев: слоя нитрида кремния 6 и слоя 7 из оксида кремния SiO2. Планарная светоотражающая площадка 4 содержит два слоя: нижний 8 из нихрома NiCr и верхний 9 из никеля Ni. Технический результат, получаемый при реализации заявляемой полезной модели, выражается в повышении чувствительности элемента при минимальных нелинейных искажениях за счет снижения уровня механических напряжений в мембране. 2 п. ф-лы, 1 н.п. ф-лы, 1 фиг.
Описание документа
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ МЕМБРАННОГО ТИПА», заявителя Амеличев Владимир Викторович (RU), Генералов Сергей Сергеевич (RU), Соловьева Галина Петровна (RU), Смехова Мария Игоревна (RU), Никифоров Сергей Валерьевич (RU). , патентообладателя «федеральное государственное бюджетное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр" МИЭТ" (RU) ». Содержит 6 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.