Контейнер для диффузионного легирования
Контейнер для диффузионного легирования
СССР
Место издания
197
Год издания
Описание документа
Код документа в НЭБ
000224_000128_0000336727_19720421_A1_SU
Каталог
Автор
Павлов П.В., Пашков В.И., Туловчиков В.С.
Заглавие
Контейнер для диффузионного легирования
Место издания
СССР
Год издания
197
Объем
2
Язык
Русский
Еще
МПК
H01L 21/38
Еще
Заявитель
Горьковский исследовательский физико-технический институт
Еще
Код вида документа
Описание изобретения к авторскому свидетельству
Еще
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «Контейнер для диффузионного легирования», заявителя Павлов П.В., Пашков В.И., Туловчиков В.С. Содержит 2 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.