Версия для слепых

СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

СССР
Место издания
Год издания

Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - повысить качество и разрешающую способность при производстве микроструктур, расширить спектр применяемых материалов.

Пучок нейтральных атомов формируется на основе резонансного взаимодействия с полем стоячей волны монохроматического электромагнитного излучения, при этом атомы разгоняются до постоянных скоростей, воздействуя на них совокупностью попутного и встречного излучений. Фокусируют пучок путем пропускания атомов вдоль сходящихся к объекту обработки линий максимумов пространственной интерференционной картины, образованной встречным движению атомов излучением, полученным по меньшей мере от трех симметрично расположенных в плоскости точечных источников плоско поляризованного излучения. Попутное излучение поляризовано в той же плоскости, что и встречное и совмещено с охлаждающим излучением и сфокусировано в центр симметрии системы. Управляют распределением атомов по поперечному сечению пучка, регулируя поперечное распределение интенсивности попутного излучения. Описано устройство для осуществления способа формирования пучка нейтральных атомов, включающее в себя источники когерентного излучения, зеркало с отверстием и источник нейтральных атомов, выполненный в виде полого цилиндра из тугоплавкого материала, футерованного рабочим веществом, снабженного окнами в торцовых стенках и подогревателем. 2 с. и 6 з. п. ф-лы, 9 ил.

Читать аннотацию полностью Скрыть аннотацию

Описание документа

Код документа в НЭБ
000224_000128_0001672865_19960420_A1_SU
Автор
Никонов А.В., Дмитриев А.Е., Советов Н.М., Кузнецов Е.Ф., Клокотов В.М., Богдевич Е.В.
Заглавие
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Место издания
СССР
Год издания
1996
Объем
16
Язык
Русский
МПК
G21K 1/06, H01L 21/20
Заявитель
Саратовский политехнический институт
Код вида документа
Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР (SU)

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ», заявителя Никонов А.В., Дмитриев А.Е., Советов Н.М., Кузнецов Е.Ф., Клокотов В.М., Богдевич Е.В. Содержит 16 ст. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .