Изобретение относится к технике и технологии обработки микроструктур и может быть применено в производстве изделий микроэлектроники. Цель изобретения - повысить качество и разрешающую способность при производстве микроструктур, расширить спектр применяемых материалов.
Пучок нейтральных атомов формируется на основе резонансного взаимодействия с полем стоячей волны монохроматического электромагнитного излучения, при этом атомы разгоняются до постоянных скоростей, воздействуя на них совокупностью попутного и встречного излучений. Фокусируют пучок путем пропускания атомов вдоль сходящихся к объекту обработки линий максимумов пространственной интерференционной картины, образованной встречным движению атомов излучением, полученным по меньшей мере от трех симметрично расположенных в плоскости точечных источников плоско поляризованного излучения. Попутное излучение поляризовано в той же плоскости, что и встречное и совмещено с охлаждающим излучением и сфокусировано в центр симметрии системы. Управляют распределением атомов по поперечному сечению пучка, регулируя поперечное распределение интенсивности попутного излучения. Описано устройство для осуществления способа формирования пучка нейтральных атомов, включающее в себя источники когерентного излучения, зеркало с отверстием и источник нейтральных атомов, выполненный в виде полого цилиндра из тугоплавкого материала, футерованного рабочим веществом, снабженного окнами в торцовых стенках и подогревателем. 2 с. и 6 з. п. ф-лы, 9 ил.
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ АТОМОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ», заявителя Никонов А.В., Дмитриев А.Е., Советов Н.М., Кузнецов Е.Ф., Клокотов В.М., Богдевич Е.В. Содержит 16 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.