СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛАНАРИЗОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛАНАРИЗОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК
СССР
Место издания
1996
Год издания
Использование: технология микроэлектроники, в частности получение тонких металлических пленок. Сущность изобретения: в способе формирования планаризованных тонких пленок модулируют частотой не более 4 МГц по амплитуде величину ВЧ-смещения на подложке в процессе осаждения тонкой металлической пленки распылением в разряженной среде инертного газа.
1 ил.
Описание документа
Код документа в НЭБ
000224_000128_0001829760_19960327_A1_SU
Каталог
Автор
Достанко А.П., Попов С.В., Баранов В.В., Попов Ю.П., Казачонок Г.М.
Заглавие
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛАНАРИЗОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Место издания
СССР
Год издания
1996
Объем
5
Язык
Русский
Еще
МПК
H01L 21/263
Еще
Заявитель
Минский радиотехнический институт
Еще
Код вида документа
Описание изобретения к авторскому свидетельству СССР (SU)
Еще
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛАНАРИЗОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК», заявителя Достанко А.П., Попов С.В., Баранов В.В., Попов Ю.П., Казачонок Г.М. Содержит 5 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.