ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме или "чистых" технологических средах, а именно к шлюзовым устройствам. Цель изобретения - подача в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки. Цель достигается тем, что в шлюзовом устройстве согласно изобретению внутри каждого гнезда установлен шток с поршнем, который герметизирован с ротором посредством сильфона, а поршень взаимодействует с конусом, который жестко закреплен на торцовой поверхности винта, установленного в резьбовом отверстии корпуса.
2 ил.
Описание документа
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВВОДА МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ», заявителя Ивашов Е.Н., Лернер Л.И., Паршиков А.П., Степанчиков С.В., Цветков П.А. , патентообладателя «Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) ». Содержит 6 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.