Версия для слепых
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ

РОССИЯ
Место издания
Год издания

Использование: изучение процессов формирования слабых искажений кристаллической структуры поверхностных слоев. Сущность изобретения: измеряют угловую зависимость дифрагированной волны от монокристаллического образца с периодическими нарушениями поверхностного слоя на двухкристальном рентгеновском дифракторе , у которого отношение размера f фокуса источника к расстоянию от источника до образца R отвечает условию f/R меньше лямбда/2а Sin(тета b), где а - период структуры, тета b - точный Брэгговский угол, лямбда - длина волны излучения.

Деформацию поверхности определяют по интенсивности полученных сателлитных пиков. 3 ил.

Читать аннотацию полностью Скрыть аннотацию

Описание документа

Код документа в НЭБ
000224_000128_0002062458_19960620_C1_RU
Автор
Аристов В.В., Никулин А.Ю., Снигирев А.А.
Заглавие
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ
Место издания
РОССИЯ
Год издания
1996
Объем
6
Язык
Русский
Патентообладатель
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
МПК
G01N 23/20
Заявитель
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
Код вида документа
Патент на изобретение

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ», заявителя Аристов В.В., Никулин А.Ю., Снигирев А.А. , патентообладателя «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН ». Содержит 6 ст. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .