Использование: изучение процессов формирования слабых искажений кристаллической структуры поверхностных слоев. Сущность изобретения: измеряют угловую зависимость дифрагированной волны от монокристаллического образца с периодическими нарушениями поверхностного слоя на двухкристальном рентгеновском дифракторе , у которого отношение размера f фокуса источника к расстоянию от источника до образца R отвечает условию f/R меньше лямбда/2а Sin(тета b), где а - период структуры, тета b - точный Брэгговский угол, лямбда - длина волны излучения.
Деформацию поверхности определяют по интенсивности полученных сателлитных пиков. 3 ил.
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ ПЕРИОДИЧЕСКИ МОДУЛИРОВАННОЙ ПОВЕРХНОСТИ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ», заявителя Аристов В.В., Никулин А.Ю., Снигирев А.А. , патентообладателя «Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН ». Содержит 6 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.