СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК
Патент на изобретение
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК
Патент на изобретение
Использование: производство подложек для изготовления интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов. Способ подготовки полупроводниковых подложек включает механическое полирование и очистку поверхности с использованием ультразвука, химико-механическое полирование рабочей стороны подложек.
После механического полирования и очистки поверхности на рабочей
стороне подложек путем селективного или анизотропного химического травления на глубину нарушенного полированием слоя формируют
микрорельеф и обрабатывают подложки ультразвуком в течение 2,5-3,0 ч в
деионизованной воде, а затем не позднее, чем через сутки проводят химико-механическое полирование для удаления микрорельефа на
рабочей стороне подложек. 2 табл.
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000224_000128_0002072585_19970127_C1_RU
Каталог
Заявитель(и)
Научно-исследовательский институт измерительных
систем
Еще
Автор(ы)
Патентообладатель(и)
Научно-исследовательский институт измерительных систем
Еще
МПК
H01L 21/302
Еще
Вид документа
Патент на изобретение
Еще
Название
СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК
Страна
РОССИЯ
Дата публикации
1997-01-27
Язык
Русский
Еще
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК » , автор — Скупов В.Д.. Документ был опубликован в 1997 году. Место издания — РОССИЯ. Документ размещен в каталоге НЭБ 1997-01-27 поступления в рубрике: Патент на изобретение. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ". Фонд библиотеки расположен по адресу: 125993, Бережковская набережная, ул. 24, к.1. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « СПОСОБ ПОДГОТОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖЕК » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.