Изобретение относится к квантовой электронике, а именно к лазерным проекционным системам, и может быть использовано для неразрушающего контроля больших интегральных схем, процессов обработки материалов концентрированными потоками энергии в промышленности, исследования микрообъектов в медицине и биологии.
Лазерный проекционный микроскоп содержит установленные соосно лазерный усилитель, объектив, телевизионную камеру, сопряженную с компьютером, на приемном устройстве которой при помощи системы формирования изображения формируется изображение наблюдаемого объекта. Система формирования изображения лазерного проекционного микроскопа выполнена трехлинзовой. Первая и вторая линзы жестко зафиксированы относительно друг друга так, что задний фокус первой линзы совмещен с передним фокусом второй линзы, третья линза жестко закреплена относительно приемного устройства системы регистрации изображения, расстояние от наблюдаемого объекта до первой линзы l1 выбрано из условия l1 > (f1 + f2) · f1 / f2, где f1 и f2 - фокусные расстояния первой и второй линзы соответственно. При перемещении объекта наблюдения вдоль оптической оси изображение объекта наблюдения после второй линзы сдвинется и изменится расстояние от него до третьей линзы. Перемещением системы первой и второй линз относительно третьей линзы расстояние приводится в исходное состояние, а значит, размер изображения наблюдаемого объекта на приемном устройстве телекамеры также приводится в исходный. Необходимое перемещение системы первой и второй линз строго пропорционально перемещению объекта наблюдения с коэффициентом пропорциональности: K = (f1 / f2) / [1 - (f1 / f2)] . Технический результат - сохранение неизменным размера изображения наблюдаемого объекта на приемном устройстве при измерении его положения вдоль оптической оси и как следствие увеличение точности контроля. 2 ил.
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «ЛАЗЕРНЫЙ ПРОЕКЦИОННЫЙ МИКРОСКОП», заявителя Батенин В.М., Климовский И.И., Калинин С.В., Галкин А.Ф., Данилов С.Ю., Прокошев В.Г., Абрамов Д.В., Аракелян С.М. , патентообладателя «Владимирский региональный научно-координационный центр "Владренако" ». Содержит 6 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.