СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ДЛЯ ЛАЗЕРОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ЛИТОГРАФИИ
Изобретение относится к системам контроля и, в частности, к системам контроля работы лазеров. Его использование позволяет получить технический результат в виде создания более совершенной системы контроля лазеров для литографии на предприятиях по производству интегральных микросхем.
Технический результат достигается за счет того, что каждый лазер на каждом производственном предприятии связан с соответствующим сервером терминала, при этом на каждом производственном предприятии серверное устройство центрального управления осуществляет обмен информацией с каждым из лазеров через локальную сеть. Сбор информации из лазеров осуществляют посредством серверного устройства центрального управления и используют эту информацию для создания сводной информации, которая является доступной для заинтересованных сторон, которым предоставлено право на доступ в формате Web-узла. 13 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл.
Описание документа
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ДЛЯ ЛАЗЕРОВ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В ЛИТОГРАФИИ», заявителя ПЭЙТЛ Партив С. (US), КОНВЭЙ Джозеф Э. (US), ТАНТРА Мулджади (US), МОЭН Джеффри В. (US), КАРЛЕСИ Джейсон Р. (US), ГРИН Роджер Л. (US), УОТСОН Том А. (US), РОУАН Кристофер Дж. (US). , патентообладателя «САЙМЕР, ИНК. (US) ». Содержит 21 ст. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.