Версия для слепых
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТЫХ ИЗДЕЛИЙ
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТЫХ ИЗДЕЛИЙ

СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТЫХ ИЗДЕЛИЙ

РОССИЯ
Место издания
Год издания

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме, а также к устройствам получения тонкопленочных покрытий ионным распылением в вакууме, и может быть использовано в производстве изделий электронной техники для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность трубчатых изделий, например колб и горловин электронно-лучевых трубок ( ЭЛТ ).

Для повышения производительности и снижения энергетических затрат в предлагаемом способе нанесения покрытий, заключающемся в распылении в вакууме мишени из наносимого материала аксиально-симметричным и соосным изделию пучком ионов и осаждении покрытия на внутреннюю поверхность изделия при одновременном вращении и возвратно-поступательном движении изделия с очисткой внутренней поверхности изделия перед осаждением покрытия путем отклонения пучка ионов от оси изделия, очистку внутренней поверхности изделия и осаждение покрытия осуществляют одновременно с распылением материала мишени, для чего часть пучка ионов пропускают через полость в мишени, внутренняя поверхность которой имеет изоляционное покрытие, и отклоняют совместным воздействием локального, направленного поперек оси изделия постоянного магнитного и наведенного на изоляционном материале покрытия полости тормозящего электростатического полей. В устройстве для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность трубчатых изделий в мишени выполнена полость для пропускания части пучка ионов, внутренняя поверхность которой имеет изоляционное покрытие, по обе стороны полости расположены постоянные магниты, не выходящие за пределы цилиндрической трубки и служащие для создания локального, поперечного для входящей в полость части пучка ионов постоянного магнитного поля, а в цилиндрической трубке выполнено дополнительное отверстие для вывода части пучка ионов, отклоненной совместным воздействием локального постоянного магнитного и наведенного на изоляционном покрытии тормозящего электростатического полей, расположенное ниже отверстия для выхода распыленного материала. Кроме того, на внешней стороне цилиндрической трубки расположен экран, выполненный с возможностью его возвратно- поступательного перемещения относительно отверстия для выхода распылительного материала при возвратно-поступательном движении изделия, механизм движения изделия выполнен с возможностью вращения с регулируемой скоростью либо дискретного поворота изделия на углы ω, выбираемые в пределах 0<ω<± 2π, в зависимости от конфигурации изделия, и одновременного вращательного и возвратно-поступательного движения изделия.

Читать аннотацию полностью Скрыть аннотацию

Описание документа

Код документа в НЭБ
000224_000128_0093020146_19960327_A_RU
Автор
Коновалов А.И.
Заглавие
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТЫХ ИЗДЕЛИЙ
Место издания
РОССИЯ
Год издания
1996
Язык
Русский
МПК
C23C 8/36
Заявитель
Саратовский научно-исследовательский институт машиностроения
Код вида документа
Заявка на изобретение

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТЫХ ИЗДЕЛИЙ», заявителя Коновалов А.И. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .