Версия для слепых

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ

РОССИЯ
Место издания
Год издания

Способ получения пленки диоксида кремния на подложке, включающий подготовку поверхности подложки путем обработки ее в газовых реагентах при воздействии УФ-излучения с длиной волны 185,254 нм и температуре 200-250oC и последующее осаждение в едином технологическом цикле диоксида кремния из газовых реагентов при воздействии УФ-излучения с длиной волны 185,254 нм и температуре 200-250oC, отличающийся тем, что перед подготовкой поверхности подложку обрабатывают в газовой смеси трифторида азота и водорода с парциальными давлениями 500-700 Па каждого при УФ-облучении с длиной волны не выше 170 нм при 100-120oC, при этом при подготовке поверхности в качестве газовых реагентов используют смесь трифторида азота, водорода и кислорода при парциальных давлениях 500-700 Па, 500-700 Па и 100-200 Па соответственно, а для осаждения пленки диоксида кремния в качестве газовых реагентов используют смесь тетраметоксисилана и кислорода при парциальных давлениях 50-100 Па и 500-1000 Па соответственно.

Описание документа

Код документа в НЭБ
000224_000128_0096109312_19980827_A_RU
Автор
Алехин А.П., Мазуренко С.Н., Маркеев А.М., Науменко О.И.
Заглавие
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ
Место издания
РОССИЯ
Год издания
1998
Язык
Русский
МПК
H01L 21/316
Заявитель
Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В.Лукина
Код вида документа
Заявка на изобретение

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ НА ПОДЛОЖКЕ», заявителя Алехин А.П., Мазуренко С.Н., Маркеев А.М., Науменко О.И. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .