МАГНЕТРОННЫЙ ИСТОЧНИК

2. Магнетронный источник, содержащий магнитную систему, анод и тигель из тугоплавкого немагнитного материала для размещения в нем расплавляемого материала мишени, отличающийся тем, что он содержит дополнительный источник расплавленного материала мишени, тигель снабжен крышкой, выполненной из тугоплавкого немагнитного материала со сквозными капиллярными каналами, выходящими на внутреннюю и внешнюю поверхности крышки, при этом дополнительный источник расплавленного материала мишени связан через запорный элемент с полостью тигля, а длина - L капиллярных каналов удовлетворяет неравенству: L < C2/r; где C - капиллярная постоянная материала мишени [см]; r - радиус капиллярных каналов [см]. 3. Магнетронный источник по п. 2, отличающийся тем, что дополнительный источник расплавленного материала мишени выполнен в виде по крайней мере одного контейнера, снабженного средствами нагрева и поршнем.