Версия для слепых

СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК

РОССИЯ
Место издания
Год издания

Способ обработки кремниевых подложек, включающий электрохимическое формирование на одной из сторон подложек слоя пористого кремния, обеспечивающего подвижность примесей и дефектов, обработку подложек и удаление пористого кремния, отличающийся тем, что пористый кремний формируют на рабочей стороне подложек и затем аморфизируют поверхность пористого кремния облучением ионами с энергией, при которой глубина проникновения ионов не превышает толщину слоя пористого кремния, а последующее удаление облученного пористого кремния проводят путем химико-динамического полирования в кислотном травителе.

Описание документа

Код документа в НЭБ
000224_000128_0097106304_19990420_A_RU
Автор
Скупов В.Д., Перевощиков В.А., Шенгуров В.Г.
Заглавие
СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК
Место издания
РОССИЯ
Год издания
1999
Язык
Русский
МПК
H01L 21/322
Заявитель
Научно-исследовательский институт измерительных систем
Код вида документа
Заявка на изобретение

Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК», заявителя Скупов В.Д., Перевощиков В.А., Шенгуров В.Г. Язык: «Русский».

Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.

Вы находитесь на новой версии портала Национальной Электронной Библиотеки. Если вы хотите воспользоваться старой версией, перейдите по ссылке .