Способ обработки кремниевых подложек, включающий электрохимическое формирование на одной из сторон подложек слоя пористого кремния, обеспечивающего подвижность примесей и дефектов, обработку подложек и удаление пористого кремния, отличающийся тем, что пористый кремний формируют на рабочей стороне подложек и затем аморфизируют поверхность пористого кремния облучением ионами с энергией, при которой глубина проникновения ионов не превышает толщину слоя пористого кремния, а последующее удаление облученного пористого кремния проводят путем химико-динамического полирования в кислотном травителе.
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК», заявителя Скупов В.Д., Перевощиков В.А., Шенгуров В.Г. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.