СПОСОБ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
СПОСОБ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
РОССИЯ
Место издания
2002
Год издания
Способ ионного легирования твердых тел, заключающийся в последовательном облучении объекта ионами фазообразующих элементов, отличающийся тем, что дополнительно объект облучают ионами инертного газа одновременно или предварительно облучению ионами фазообразующих элементов.
Описание документа
Код документа в НЭБ
000224_000128_2000108605_20020220_A_RU
Каталог
Автор
Реутов Валерий Филиппович, Дмитриев Сергей Николаевич
Заглавие
СПОСОБ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Место издания
РОССИЯ
Год издания
2002
Язык
Русский
Еще
МПК
C30B 31/22, H01L 21/265
Еще
Заявитель
Объединенный институт ядерных
исследований
Еще
Код вида документа
Заявка на изобретение
Еще
Портал НЭБ предлагает вам прочитать онлайн или скачать патент «СПОСОБ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ», заявителя Реутов Валерий Филиппович, Дмитриев Сергей Николаевич. Язык: «Русский».
Выражаем благодарность библиотеке «Федеральный институт промышленной собственности, отделение ВПТБ» за предоставленный материал.