Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
1995
Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур
автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
1995
Библиографическое описание
Скопировать
Ухов, Андрей Александрович. Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07., 1995. — 14 с..
Детальная информация
Код документа в НЭБ
000199_000009_000028436
Каталог
Автор(ы)
Заглавие
Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07
Год издания
1995
Объем
14 с.
ББК
З844.1-060.7-7с33-5-01,0
Язык
Русский
Еще
Библиотека
LDR
01385nam a2200289 i 4500
001
000028436
003
RuMoRGB
005
20071026120000.0
008
960613s1995 ru |||| a |00 u rus d
017
##
$a: 95-7569А
$b: RuMoRKP
$a: 95-7569А
$b: RuMoRKP
035
##
$a: (RuMoRGB)DIS-0028727
$a: (RuMoRGB)DIS-0028727
040
##
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
$a: RuMoRGB
$b: rus
$c: RuMoRGB
041
##
$a: rus
$a: rus
072
#1
$a: 05.27.07
$2: nsnr
$a: 05.27.07
$2: nsnr
084
##
$a: З844.1-060.7-7с33-5-01,0
$2: rubbk
$a: З844.1-060.7-7с33-5-01,0
$2: rubbk
100
1#
$a: Ухов, Андрей Александрович
$a: Ухов, Андрей Александрович
245
##
$a: Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
$a: Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур :
$b: автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07
260
##
$c: 1995
$c: 1995
300
##
$a: 14 с.
$a: 14 с.
650
#1
$a: Оборудование производства электронной техники
$2: nsnr
$a: Оборудование производства электронной техники
$2: nsnr
787
11
$w: 000164677
$i: Диссертация
$w: 000164677
$i: Диссертация
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-3/3702-x
$x: 90
$a: РГБ
$b: FB
$c: D13N
$j: 9 95-3/3702-x
$x: 90
852
1#
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-3/3703-8
$x: 82
$a: РГБ
$b: FB
$c: T026
$j: 9 95-3/3703-8
$x: 82
856
11
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000028000/rsl01000028436/rsl01000028436.pdf
$y: Читать
$q: application/pdf
$u: http://dlib.rsl.ru/rsl01000000000/rsl01000028000/rsl01000028436/rsl01000028436.pdf
$y: Читать
Национальная электронная библиотека (НЭБ) предлагает Вам ознакомиться с подробной информацией о документе: « Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07 » , автор — Ухов А.А.. Документ был опубликован в 1995 году. Электронный ресурс – электронная копия документа предоставлена в НЭБ библиотекой "Российская государственная библиотека". Фонд библиотеки расположен по адресу: 119019, Москва, ул. Воздвиженка, 3/5. На сайте rusneb.ru Вы можете читать онлайн оцифрованную версию документа « Исследование и разработка фотоэлектрических устройств для измерения параметров фотошаблонов и пленочных структур : автореферат дис. кандидата технических наук : 05.27.07 » в удобной системе просмотра документов. Документ также доступен для скачивания в форматах: pdf.